Вторично-ионный масс-спектрометр CAMECA IMS 4f (CAMECA, Франция)

Описание установки:

Вторично-ионный масс-спектрометра с магнитным сектором IMS 4f французской фирмы CAMECA. Прибор может работать в двух режимах:

• Ионный микроскоп: с помощью ионной оптической системы в фокальной плоскости анализатора создаётся отсепарированное по массе ионное изображение поверхности подобно тому, как это происходит в оптическом и просвечивающем электронном микроскопе. Для создания однородной плотности изображения первичный пучок разворачивается в растр. При этом его диаметр может оставаться достаточно большим, что никак не сказывается на латеральном разрешении, которое определяется только настройкой ионно-оптической системы и может достигать 1 мкм.
• Ионный микрозонд: спектрометр работает по принципу растрового электронного микроскопа, в котором электронный пучок заменён ионным. В этом случае латеральное разрешение определяется диаметром первичного ионного пучка.

Основные характеристики спектрометра:

• Диапазон масс: 1—500 а. е. м.;
• Разрешение по массе: M/ΔM=20000 и более;
• Первичные ионы:
• Дуоплазматрон: O₂⁺, O^-, Ar⁺. Ускоряющее напряжение от 5 до 17.5 кВ. Позволяет сфокусировать пучок до размера 1 мкм.
• Цезиевый источник с ускоряющим напряжением 10 кВ. Минимально возможный размер пучка 0.1 мкм
• Прибор набжён нейтрализационной камерой, позволяющей бомбардировать образец пучком нейтральных атомов
• Вторичные ионы: как положительной, так и отрицательной полярности
• Имеется электронная пушка нормального падения для нейтрализации непроводящих образцов.

124460, Москва, г. Зеленоград, ул. конструктора Гуськова, дом 5.

Тел: +7 (499) 214-01-14,          Электронная почта: admin@niifp.ru,

Факс: +7 (499) 731-55-92.                                    kozlitin50@mail.ru.